化學機械拋光液生產線

NP-CMP化學機械拋光液生產線主要用于CMP（化學機械拋光液）（包括基于氧化硅納米顆粒的拋光液、氧化鈰納米顆粒的拋光液、碳化硅化學機械拋光液、氧化鋁體系和硅溶膠體系的超精密加工類化學機械拋光液）的分散和各種微納米材料、新能源材料、無機阻燃劑等的破碎、分散、分級、改性等。

化學機械拋光液（CMP 拋光液）生產線是用于混合、分散、研磨及均化拋光液各組分（如磨料、化學試劑、分散劑等）的專用設備，核心是確保體系穩定、無團聚且成分均勻。

核心設備組成（按制備流程）

1. 預混合設備：多采用**高速攪拌罐**，用于將化學試劑（如氧化劑、pH 調節劑）與溶劑（通常為去離子水）初步混合，形成均勻的液相體系，為后續磨料加入做準備。

2. 分散研磨設備：

  - 高剪切分散機：通過高速旋轉的轉子與定子產生強烈剪切力，打散磨料（如 SiO?、Al?O?）的初始團聚體，是保證拋光液分散性的關鍵設備。

  - 砂磨機/球磨機：針對高硬度或易團聚的磨料，通過研磨介質（如氧化鋯珠）的碰撞、摩擦，將磨料粒徑細化至目標范圍（通常納米級），并進一步提升均一性。

3. 均化與過濾設備：

  - 超聲波分散儀：輔助破除微小團聚體，尤其適用于納米級磨料的最終分散，提升拋光液穩定性。

  - 精密過濾器：采用微米級或亞微米級濾芯，過濾體系中的大顆粒雜質或未打散的團聚體，避免拋光時劃傷晶圓等工件。

4. 混合與儲存設備：

  - 靜態混合器：在物料輸送過程中實現高效混合，避免局部成分不均。

  - **潔凈儲液罐**：具備攪拌、溫控及防塵功能，用于儲存制備完成的拋光液，防止分層或污染。

核心技術要求

- 高潔凈度：設備內壁需光滑且耐腐蝕（如采用 316L 不銹鋼或 PTFE 材質），避免金屬離子或雜質污染拋光液。

- 精準控溫：部分化學組分混合時會放熱，需通過夾套水冷或加熱系統控制溫度，防止成分變質或磨料團聚。

- 參數可控：分散速度、研磨時間、攪拌速率等參數需可精確調節，以匹配不同配方拋光液的制備需求。

NP-CMP化學機械拋光液生產線生產線經過測試的工藝路線，已經實現量產                    

智能控制，實時監測，完整數據存儲，直觀顯示圖、表

轉速可調，溫度可控，超聲波強度可調，可定時

操作方便簡潔，清洗容易